微機電系統(tǒng)工程專業(yè)排名前10名的大學有：清華大學（排名第1）、哈爾濱工業(yè)大學（排名第2）、上海交通大學（排名第3）、華中科技大學（排名第4）、北京理工大學（排名第5）、天津大學（排名第6）、大連理工大學（排名第7）、浙江大學（排名第8）、西安交通大學（排名第9）、北京航空航天大學（排名第10）。

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全國微機電系統(tǒng)工程專業(yè)大學排名榜（2024年最新）

微機電系統(tǒng)工程專業(yè)簡介

微機電系統(tǒng)工程專業(yè)在光、機、電技術(shù)一體化方面的優(yōu)勢和研究成果為微機電系統(tǒng)技術(shù)方面的研究和發(fā)展打下了堅實的基礎(chǔ)。本系在微納米和微機電系統(tǒng)如微泵、微傳感器、微加速度計等一系列微器件的設(shè)計、制造、工藝、測試以及基礎(chǔ)理論等方面進行了深入的研究,其它的研究領(lǐng)域還有:微陀螺和微慣導(dǎo)系統(tǒng)、微光學器件、微測量技術(shù)、小飛機、小衛(wèi)星和微米衛(wèi)星、納米摩擦學以及光盤機讀寫頭微型機構(gòu)等。